三维力传感器要测量三个方向的信号,先确定传感器中测量的最大值,一般需要选择一个具有比最大值还要大1.2倍左右的力量值变送器。这主要是在许多系统中,尤其是水压测量和加工处理中,有峰值和持续不规则的上下波动,这种瞬间的峰值能破坏三维力传感器。持续的高压力值或稍微超出三维力传感器的标定最大值会缩短冲击力传感器的寿命,这样做还会使精度下降。于是可以用一个缓冲器来降低压力毛刺,但这样会降低传感器的响应速度。所以在选择变送器时要充分考虑压力范围、精度与其稳定性。
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对冲击力传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。
三维力传感器需要多大的精度, 决定精度的有非线性,迟滞性,非重复性,温度、零点偏置刻度,温度的影响。但主要由非线性,迟滞性,非重复性,精度越高,价格也就越高。
选择怎样的三维力传感器电压,输出信号的类型决定选择怎么样的励磁电压。许多压力变送器有内置的电压调节装置,因此其电源电压范围较大。有些冲击力传感器是定量配置,需要一个稳定的工作电压,因此,工作电压决定是否采用带有调节器的三维力传感器,选择传送器时要综合考虑工作电压与系统造价。